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106 題:半導電製程中的化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是利用機械配合適當的化學助劑,以將高低起伏不一的晶片表面、輪廓一併加以磨平。下列何項是化學機械研磨時常用的金屬膜研磨液?

12300 化工 丙級 / 工作項目 01:普通化學

半導電製程中的化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是利用機械配合適當的化學助劑,以將高低起伏不一的晶片表面、輪廓一併加以磨平。下列何項是化學機械研磨時常用的金屬膜研磨液?

選項

  • A.
    選項 A
  • B.
    選項 B
  • C.
    選項 C
  • D.
    選項 D

正確答案

B
選項 B
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